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TSI AeroTrak粒子计数器可使用AeroTrak ® 7950型高压空气扩散器 (HPD) 配件测量高压压缩气体系统中颗粒物污染。由于粒子计数器无法对高压气体采样，因此需要HPD配件降低压缩气体的压力，实现压缩气体系统洁净度水平的评估。

特性与优势

• 兼容0.1 cfm AeroTrak 粒子计数器（包括远程式和手持式）和 AeroTrak 9001型洁净室凝聚核粒子计数器。

• 监测和测试ISO 8573-3 和 SEMI E49.8 标准限制条件

• 可将高达 120 psi (8.27 bar) 的气压降压至近大气压

• 额定流量0.1 cfm (2.83 lpm)

• 无需手动调整或校准

• 可使用洁净干燥空气 (CDA)，氮气 (N 2 ) 和氩气 (Ar)

• 钝化不锈钢外壳可防止洁净室化学品腐蚀

• 排气过滤器可在高压气体源断开时保护扩散器免受污染